У статті описано новий ємнісний датчик тиску на основі мікроелектромеханічних систем, який має дуже високу чутливість (2,24 мкФ/кПа). Датчик складається з краплини ртуті та плоского алюмінієвого електрода, які розділяються шаром кераміки з високою діелектричною сталістю. Змінюючи площу електродів, можна отримати зміну ємності більше 6 мкФ. Цей датчик має чутливість, що значно перевершує всі відомі на сьогодні ємнісні датчики тиску. Прототипи датчиків, які були виготовлені та протестовані, мають зміну ємності більше 6 мкФ в діапазоні тиску від 0 до 3 кПа. Рівень чутливості датчика складає 2,24 мкФ/кПа. Експериментально було підтверджено правильність розрахунків, і діапазон тиску, який може бути виміряний датчиком, може бути збільшений за рахунок використання більш жорсткої діафрагми.